[지방대학활성화사업(반도체)] 반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강



<특강 강연자>

UNIST 반도체공학과 김수현 교수 (現 UNIST 반도체 소재부품 대학원 및 신소재공학과 교수, 前 영남대학교 신소재공학부 교수, 前 SK 하이닉스 선임 연구원)



<특강 시간 및 장소>

04월 30일 화요일 15:00~16:15 자연과학대학 강당

※ 14시 50분까지 착석 부탁드립니다.

※ 커피와 쿠키 제공됩니다.



<특강 내용>

주제 : 반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강

내용:

1) 반도체 배선 공정 개략 및 기초

2) 반도체 증착 공정 (Sputtering, CVD, ALD, EP)

3) Cu 배선 공정

4) 질의응답